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產(chǎn)品展示
晶圓傳輸系統(tǒng)-EFEM

8”/12”晶圓適用
兼容Wafer cassette / FOUP / FOSB / Box 進出料
可選貝努利晶圓搬運技術(shù)
配置12” 裝卸料塢
晶圓智能料籃內(nèi)測繪
非接觸晶圓校正
工控機+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力